Máy kiểm tra khuyết tật X-eye NF 120B là hệ thống kiểm tra tia X tập trung Nano.
Máy kiểm tra khuyết tật X-eye NF 120B
Đặc điểm của máy cụ thể là:
Ống lấy nét nano có độ phân giải 400 nano được lắp đặt chuyên dùng cho bao bì bán dẫn, bao bì cấp độ wafer (WLP) yêu cầu phát hiện các khuyết tật Sub-micron.
Có thể theo dõi và kiểm tra chính xác khu vực bị khuyết bằng chuyển động chính xác của trục với bảng chống rung.
Tích hợp sẵn chế độ chụp cắt lớp nếu mô-đun CT 3D vào. Kiểm tra tự động wafer Bump từ tải đến kiểm tra với các hệ thống xử lý wafer.
Hệ thống phân tích không phá hủy đối với bao bì cấp wafer
Hình ảnh độ phân giải cao với CT loại kép
Ứng dụng: TSV, Micro Bump, Hoa văn
Đang cập nhật...